精密熱板 光刻膠烤膠臺 堅膜烘膠臺光刻膠在曝光完成后,光刻膠需要經過再一次烘烤,因為這次烘烤在曝光后,所以稱為“曝光后烘烤”,簡稱后烘或堅膜,英文為Post Exposure Bake(PEB)。
充氮恒溫熱板,氮氣高溫加熱臺應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、掩膜版烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
高精度晶圓熱板,恒溫加熱臺用于固化光刻膠、晶圓烘烤、光刻工藝軟烘(前烘)、硬烘(堅膜)、掩膜版烘烤、柔性電路板烘烤、固化環氧塑脂等,可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。 適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化,電路模塊的涂敷燒結和考核。熱板溫度穩定度高,重復性好??稍诠さV企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。