無(wú)氧烘箱，智能無(wú)氧雙層烘箱智能功能：

1.機(jī)臺(tái)配備MES通訊功能；
2.人機(jī)界面和PLC,可依使用者區(qū)分制程/設(shè)備/OP權(quán)限；
3.主溫控溫度實(shí)時(shí)顯示于人機(jī)界面；
4.氮?dú)饬髁匡@示人機(jī)界面，也可在人機(jī)界面設(shè)定氮?dú)釵N/OFF，隨RECIPE設(shè)定；
5.機(jī)臺(tái)上下箱各配備一臺(tái)掃描槍；
6.制程條件參數(shù)改于人機(jī)畫(huà)面上以表格化方式輸入，只要依序輸入欲制程條件系統(tǒng)即會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)入溫控器；
7.系統(tǒng)可與客戶IT進(jìn)行連接，可選用條形碼上傳IT后，接收由IT比對(duì)下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式，系統(tǒng)并自動(dòng)將制程寫(xiě)入溫控器，達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載，避免人員制程選擇操作錯(cuò)誤問(wèn)題；
8.系統(tǒng)提供主控點(diǎn)溫度、六點(diǎn)溫度、氮?dú)饬髁恐导霸O(shè)備狀態(tài)數(shù)據(jù)可供IT進(jìn)行連接讀取，讓客戶端可遠(yuǎn)程隨時(shí)掌握設(shè)備狀況；
9.超溫防止器與人機(jī)連接，隨RECIPE設(shè)定；
10.具有馬達(dá)轉(zhuǎn)速偵測(cè)功能，且在人機(jī)顯示轉(zhuǎn)速；
11.人機(jī)有異常履歷可查詢。

 無(wú)氧烘箱，智能無(wú)氧雙層烘箱技術(shù)參數(shù)（以下數(shù)據(jù)均為單箱參數(shù)，每個(gè)箱體單獨(dú)控制、運(yùn)行）

溫度范圍： RT+10～300/400/500℃；
內(nèi)箱尺寸： 450*450*450,500*600*700；可定制 
升溫速率（空載）:0-15℃/min；
降溫方式 :自然降溫/水冷/風(fēng)冷；
氧含量： ≤50ppm，實(shí)時(shí)檢測(cè)并顯示；
控溫穩(wěn)定度： ≤±1℃；
溫度均勻度：≤±1.5%℃（空載）；

腔體數(shù)量：2/3/4/6腔體可選。