真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內部,從而置換腔內空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環境下加速氧化的現象??鞠涑槿≌婵蘸?,充入氮氣,再抽取真空,多次循環后可以確??鞠涞墓ぷ魇姨幱跓o氧的狀態,避免活性較強的物料在高溫有氧的環境下被氧化而損壞。
無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產品、醫療衛生等行業,適用于工廠、高等院校、科研等場所。
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術指標:
工作室尺寸(mm) | 450×450×450,600×600×600,可定制 |
箱體材質 | 內箱采用316L醫用級不銹鋼,外箱采用優質冷軋板靜電噴塑或不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-300/400/500℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動度 | ≤±1℃ |
升溫速率 | ≤5℃/min |
降溫速率 | 特殊要求數據 |
真空度 | ≤133pa或要求數據 |
電源 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
控制儀表 | 人機界面,可校準溫度控制器,PID自整定等功能 |
擱板層數 | 不銹鋼托盤2層或多層 |
真空泵 | 油泵/干泵自選 |
腔門密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
狀態指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態 |
氧含量 | 20PPM,可檢測,實時顯示 |
潔凈度 | Class100、1000級 |
降溫系統 | 風冷+水冷 |
氮氣控制 | 可程序自動控制 |
安全保護裝置 | 安全的接地保護裝置,超溫保護及報警裝置,漏電保護裝置 |
上海雋思儀器 專為半導體生產烘烤制程設備定做服務,無氧烤箱,真空無氧化烤箱,無氧真空烘箱,無塵烤箱,無塵無氧烤箱,真空無氧固化烤箱,PI烤箱,潔凈烘箱,氮氣烤箱,隧道烘爐,HMDS真空烤箱等。