無塵烤箱廠家無塵等級:Class 100、10; 溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
無塵烤箱廠家
維護保養
1. 檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。
2. 風機運轉是否正常。
3. 維修工檢查電流是否正常。
4. 檢查溫控器是否準確,如不準確,請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。
5. 檢查發熱管有無損壞,線路是否老化。
6. 檢查延時器是否準確,誤差是否允許。
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無塵烤箱廠家應用
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
技術指標
無塵等級:Class 100、10;
溫度范圍:RT+10~300℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm) (可定做)
電源:380v , 50Hz,6KW
網板:2塊(高度可調節)
無塵等級:Class 100、10; 溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。