PI 無塵烤箱,BCB固化烤箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門
PI 無塵烤箱,BCB固化烤箱產品概述:
本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。
PI 無塵烤箱,BCB固化烤箱技術指標:
1.1 無塵等級:Class100:(符合FED-STD 209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)
1.2溫度范圍:+60℃~ +400℃(極限溫度450℃)
1.3溫度均勻性:±2℃(空箱測試)
1.4溫度精確度:±1℃(空箱測試)
1.5設備型號規格
型號 | 有效尺寸mm | 外形尺寸mm | 加熱規格 | 結構 |
MOA-2F | W800*H800*800 | W1670*H1830*D1950 | 36KW | 單腔體 |
箱體結構:
3.1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2 進氣排氣及外循環水冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。
3.2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,
內膽材料:內箱采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。
3.3保溫材料:采用正廠中央玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。
3.4電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發生器
3.5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100;
3.6排氣及進氣:排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫,進氣口加附N2流量計控制進氣量,入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下
3.7外循環水冷部分:采用純銅蛇形毛細管分布排列在中筒周圍,并有水流量報警控制從而達到理想的控制降溫效果。
可靠先進的測控系統
5.1溫度控制裝置:日本進口RKC PF900系列溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能
5.2控制系統采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器,可與現場總線聯機遠程操控。
5.3溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶
5.4溫度監控裝置:采用日本橫河六通道巡回檢測 有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。
完善的控制系統,及安全防護措施
7.1操作控制系統,采用日本MITSUBISHI公司的FX-3G系列可編程控制器,程式化操作更可靠,更高效。
7.2含氧量分析系統,采用日本TORAY RF-400系列氧含量分析儀,可實時監控箱體內的氧含量。
7.3防護措施:超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護,漏電保護,及電磁門禁保護等。
設備使用條件:
9.1環境條件:溫度5~40℃之間:濕度≤85%R.H:
9.2電 源:3P AC380V,50HZ
9.3使用環境:無強烈振動,無強烈磁場影響,無腐蝕性氣體:
9.4氣 壓:86~106Kpa:
9.5安裝使用環境:箱體周圍應留有500mm的空間供產品安裝,維修使用。