高溫?zé)o氧化烤箱,半導(dǎo)體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結(jié)構(gòu)分為:膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個部分,膛體腔,內(nèi)表面全鏡面設(shè)計,風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成,膛體頂部有排風(fēng)管道。
高溫?zé)o氧化烤箱簡介:
高溫?zé)o氧化烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結(jié)構(gòu)分為:膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個部分,膛體腔,內(nèi)表面全鏡面設(shè)計,風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成,膛體頂部有排風(fēng)管道。
技術(shù)參數(shù):
1. zui高溫度:450℃;可自定義
2. 工作室尺寸:450×650×450mm(W×H×D);可自定義
3. 箱體數(shù)量:一個;可自定義兩箱、四箱
4. 腔體材料:SUS304鏡面不銹鋼;
5. 加熱元件:不銹鋼加熱器;
6. 熱電偶:國產(chǎn),K分度;
7. 空箱升溫時間:每分鐘5度,全程平均;
8. 空箱降溫時間:300℃-90℃降溫時間為1.5小時左右(采用鼓風(fēng)冷翅片散熱器或氣體);
9. 記錄儀:溫度和氧含量無紙記錄儀;
10. 氧含量-氧分析儀:
高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
11. 溫度波動度:±1℃;
12. 溫度均勻度:±5%(300℃平臺);
基本配置:
1. 控制:每個箱體單獨控溫、通氣、報警保護;
2. 排風(fēng)口:一個;
3. 控溫儀表:日本理化FP23溫控儀;
4. 控溫段數(shù):20×20段;
5. 控溫點數(shù):一點;
6. 超溫報警點數(shù):一點;
7. 檢測點數(shù):三點;
8. 高溫開爐門保護:當(dāng)溫度超過100℃,電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門
9. 報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;
10. 超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;
11. 電機保護:電機過電流、過熱保護;
12. 表面溫升:<30℃;
13. 加熱功率:15kW;
14. 保溫功率: ≤9kW;
15. 電源:容量大于80KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz;