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高精度數顯恒溫加熱臺光刻光刻工藝中需要烘烤的步驟有：預烘培和底漆涂敷、軟烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤

上海百級潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

高溫無氧烘箱，充氮高溫 無氧烤箱應用于MEMS智能傳感器芯片生產、LCD前工段生產、玻璃基板等工藝中的PI（聚酰亞胺）固化，BCB聚合物、PBO高溫固化，銀膠固化，光刻膠固化，鍍金方案中感濕膜烘烤工藝，車載玻璃鍍膜后退火，硅片（晶圓）高溫退火，PCB板防氧化烘烤，氟橡膠材料厭氧烘烤工藝，電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式：定值、程式，中、英文操作。

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半導體光刻膠烤膠機，基片烘膠臺定制支撐pin材料 邊緣支撐pin N2吹掃，無氧化烘烤 烘焙距離可調模組 真空腔體 智能型控制系統

雙門氮氣烘箱定制，可充氮熱風循環烘箱箱體材料：外箱采用優質冷軋板烤漆；內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；