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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。

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HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機 工業烘箱
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機 工業烘箱

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機臺。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用

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HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵
HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵

HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵泵具有密封設計,電機和軸承與真空環路全隔離,延長了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設計,可通過簡單的工具在 15 分鐘內完成維護操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染,并且不會額外增加泵的高度。

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OAP烘箱,OAP處理烘箱 工業烘箱
OAP烘箱,OAP處理烘箱 工業烘箱

OAP烘箱,OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面,變為疏水性,從而達到增加光刻膠粘附性的作用。

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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備 工業烘箱
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備 工業烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中,通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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HMDS 烘箱 工業烘箱
HMDS 烘箱 工業烘箱

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合。

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