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雙腔式PI固化爐操作步驟
雙腔式PI固化爐即具有兩個工作室的PI固化爐,可同時運行也可獨立操作。不僅具有單腔固化爐的所有功能,而且還能夠使用不同的生產(chǎn)工藝。
排氣等管道合二為一,節(jié)約能源,更加環(huán)保;
雙腔式占地面積更小,節(jié)約空間;
還可批量生產(chǎn),提高生產(chǎn)效率;
自動化控制,減少操作人員,降低生產(chǎn)成本;
雙腔式PI固化爐用途
應(yīng)用于精密電子元件、PI/CPI/PBO/BCB膠高溫固化烘烤、LCP纖維熱處理、硅片退火固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于MEMS制造、集成電路制造、觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、第三代半導(dǎo)體、太陽能、新材料等行業(yè).
雙腔式PI固化爐定制要求
單腔尺寸:W500mm×500mm×H550mm(可定尺寸)
材質(zhì):內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑(可定其他)
溫度范圍:RT+50~300/450℃
潔凈度:Class100(可選)
升溫方式:階梯升溫,可編輯多個升溫時間
降溫方式:水冷、風(fēng)冷
氧含量:氧含量≤20ppm
操作界面:彩色觸摸式人機界面
操作方式:一鍵運行
真空度:100pa(可選)